Centrotherm Oxidator 150-5,Centrotherm Oxidator 150-50
- Высокотемпературная вертикальная печь (для Si и SiC оксидирования и отжига после него)
- Загрузка:
Oxidator 150-5: 5х2″, 5х3″, 5х100мм, 5х150мм;
Oxidator 150-50: 40х2″, 50х3″, 50х100мм, 50х150мм
- Температура процесса: от 900°C до 1400°C, резистивный нагрев
- Скорость нагрева: до 10 К/мин
- Применяемые газы: NO, N2O, NO2, O2, H2, N2, Ar
- Вакуум: < 1х10-3 мбар
- Диапазон рабочего давления технологического процесса: от 800 мбар до атмосферного
- Возможность объединения нескольких установок в линию
- Опции: вакуумный загрузочный шлюз, роботизированная загрузка, система для влажного окисления, испаритель деионизованной воды и пр.
- Габариты (Ш х Г х В): 1463 х 2128 х 2500 мм
- Электропитание:
Oxidator 150-5: 25 кВт, 400В, 40А (3 фазы), 50Гц
Oxidator 150-50: 45 кВт, 400В, 70А (3 фазы), 50Гц
- Сжатый воздух: 6 — 10 бар
- Вода для охлаждения: 1,5 м3/час
- Вытяжная система: 400 м3/час